ガントリー機構を制御したい

大型ガラス板用塗布・検査装置のガントリー制御ができます。

大型のガラス板上に、薬液を塗布したり、検査する装置において、平行２軸の直動軸間にまたがる直交軸に塗布または測定ヘッドが取り付けられたガントリー機構を実現します。

平行２軸機構を実現するには、マスタ・スレーブ型の２軸内蔵サーボドライバを使用する場合と、一般的な１軸制御サーボ２台を平行２軸使用する場合が有りますが、ここでは後者を実現する場合になります。

・平行２軸機構においても原点復帰動作が可能です。
・いずれか一方の軸がサーボアラームで停止した場合、もう一方の軸も安全に即停止します。
・２軸の実位置に一定以上の差が発生した場合、安全停止させることが出来ます。
・低剛性機構の場合、一方の軸のみを微調整動作可能です。

・CPDシリーズモーションボード